Российские ученые создают литограф для производства микрочипов
В ходе российского Форума «Микроэлектроника 2022» специалисты ИПФ РАН в Нижнем Новгороде представили демонстрационный образец установки литографии для микроэлектроники.
Производство микрочипов заключается в сотнях технологических операций с помощью множества видов оборудования и огромного числа материалов, пишет портал "Стратегия развития Нижегородской области".
В России в промышленных масштабах можно работать с микроструктурами более 65 нанометров. Это примерно в 10 тыс. раз меньше миллиметра. Такие изделия нужны в космической и военной промышленности, элементах силовой электроники, но уже не подходят для компьютеров, смартфонов, серверов, искусственного интеллекта.
Важным этапом производства микрочипа становится литография, в процессе которой на кремниевую основу наносят сложный микроскопический рисунок, повторяя его многослойно.
Новая разработка основана на рентгеновском источнике излучения. По словам ученых, он эффективнее распространенной фотолитографии, использующей ультрафиолет.
«По сравнению, например, с литографами ведущего мирового производителя из Нидерландов-ASML, в нижегородской модели источник излучения в разы компактнее и чище в работе, что в конечном итоге значительно влияет на стоимость, размеры и сложность оборудования. Оптическая же система демонстратора, произведенная в ИФМ РАН, вообще превосходит все аналоги, существующие в мире на сегодняшний день», - отмечается в публикации.
Работа нижегородской установки в ее готовом варианте эффективнее голландской в 1,5-2 раза при равной мощности излучения.
Создание литографа должно быть полностью завершено в 2028 году. Разработка получит более мощный источник излучения, будут улучшены системы позиционирования и подачи, повысится скорость и точность работы.
Российские ученые создали аккумуляторы из борщевика Сосновского. Специалисты МГУ и Сколтеха сделали из вредоносного ядовитого сорняка высококачественный углеродный материал для анодов натрий-ионных батарей.
Специалисты Южно-Уральского государственного университета (ЮУрГУ, Челябинск) запатентовали технологию «Умное дерево». Она удаляет вредные вещества из воздуха и основана на принципе интернета вещей.
